穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。

可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。FEI、JEOL等高阶设备可完成测试。

显微结构分析(晶格影像)；

结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析；

元素成分分析；

电子绕射图分析；

薄膜应力分析；

杂质及污染源分析。