扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种电子显微镜，利用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。

其特点包括制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等。扫描电镜（SEM）主要是通过二次电子，背散射电子和特征X射线（XRD）信号来分析试样表面特性。

扫描电子显微镜主要⽤于对材料形貌/尺寸进行观察并分析，对带有镀层的材料膜层分析、对材料微区进行EDS元素分析、细胞观察，同时在对材料进⾏失效分析时进⾏元素测定、⾦相分析等。

扫描电镜主要⽤于观察:观察纳米材料、材料断口的分析、直接观察原始表⾯、观察厚试样、观察各个区域的细节。

检测对象：各种固体样品

放大倍率：几十-几十万倍

分辨率：纳米级

提供的衬度信息：形貌衬度、成分衬度、晶体取向衬度形貌观察：SEM可以观察几乎任何固体样品的形貌，包括各种有机、无机材料。根据所收集信号的强弱形成明暗衬度差异的图像直观，富有立体感，和肉眼观察到事物的效果几乎无差别。

尺寸测量：SEM软件可以测量图像中的尺寸、角度、弧度等数据。

成分分布信息：背散射电子像可以反映样品不同成分的分布情况。

晶粒观察：利用电子通道效应获取样品的晶体取向衬度，对于非常平整的表面，SEM可以观察到晶体物质的晶体颗粒。