透过OM or SEM，配合探针(Prober)搭接于IC线路上，再外接各类电性量测设备，以输入讯号或量测电性曲线。在真空环境下，以点针(Prober)进行电性量测，避免外界环境的噪声干扰，对于半导体组件失效分析，均能提供直接且快速的信息。

组件电性特性分析；

微机电及芯片微结构研究；

可应用在高频电路及FIB Probing PAD及Active Probe (200 MHz)；

当分析样品需使用如InGaAs/OBIRCH/TLP/ESD/Curve Tracer等仪器却无适当治具或socket可用时，可用点针方式提供信号输入输出；

Wafer可点针进行各项测试；

可依据不同需求，搭配多种设备进行量测。